Basándonos en décadas de experiencia en materias primas, hemos desarrollado competencias únicas y de valor añadido para la fabricación de semiconductores a través de nuestro Centro de Excelencia global.
Nuevos materiales y tecnología de gases corrosivos
En línea con el International Technology Roadmap (ITRS), los avances anteriores y recientes de nuestras instalaciones de San Marcos (EE.UU.), incluyen el hexafluoruro de tungsteno de alta pureza (WF6) y nuevos precursores para procesos ALD de k elevado.
Gases halógenos y raros
Hemos colaborado en posibilitar los avances en litografía ultravioleta profunda (DUV), nuestra planta Alpha (EE.UU.) ha sido la primera en crear mezclas de gases halógenos de alta pureza para láser excímero de 248nm y 193nm. Otras áreas que también conocemos son el reciclaje de xenón y los gases y sustancias químicas con enriquecimiento isotópico.
Tecnología de fluor para la limpieza de salas blancas
Nuestras instalaciones en Inju (Corea) son precursoras de la creación de generadores modulares de flúor de bajo coste y última generación. Esta tecnología, libre de emisiones de carbono, está incrementando su importancia al tiempo que la industria se ve sujeta a medidas legislativas cada vez más estrictas en materia de medioambiente.
Además, estamos participando en proyectos conjuntos de desarrollo con clientes importantes, fabricantes de equipos, organismos académicos y consorcios industriales.
Gama completa
Ofrecemos una completa gama de gases que sustentan todos los procesos de fabricación de semiconductores:
- Gases licuados de alta pureza
- Generadores de gas on-site
- Gases especiales electrónicos en botella y licuados
Gases licuados para la electrónica | Gases especiales para la electrónica |
Nitrógeno | Gases de fuente de silicio |
Hidrógeno | Incremento de nitruro/óxido |
Argón | Dopaje e implantes |
Oxígeno | Metal y grabado dieléctrico |
AUECC, una empresa del Grupo Linde, está especializada en la fabricación y distribución de sustancias químicas húmedas de alta pureza para la industria microelectrónica. Más información.
Experiencia en sistemas y servicios
Además, ofrecemos una amplia gama de servicios profesionales que le permitirán centrarse en su negocio principal y mantener las operaciones a pleno rendimiento. Éstos cubren desde los servicios de diseño e instalación hasta la gestión integral de sus sistemas de gas, e incluyen:
- Sistemas de almacenaje y distribución de gases licuados
- Sistemas de gases especiales licuados
- Cabinas de gas y rampas de distribución de gases
- Gestión total del gas y las sustancias químicas